產(chǎn)品介紹

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量控制器 小體積 高性能 MFC4000系列 產(chǎn)品描述：
本產(chǎn)品說明書提供了MFC4000系列氣體質(zhì)量流量控制器的基本信息，可用于非腐蝕性氣體流量控制，涵蓋質(zhì)量流量50mL n/min~ 1000mLn/min，可提供0~ 5VDC或4~ 20mA模擬信號(hào)控制，或RS485Modbus數(shù)字信號(hào)控制。本產(chǎn)品說明書包含性能指標(biāo)、機(jī)械尺寸、安裝及保修、客戶服務(wù)及訂貨等信息。
MFC4000質(zhì)量流量控制器的控制范圍可達(dá)100:1，可工作在為0. 1~0.8MPa,0~55C，機(jī)械接QUNF 10-32內(nèi)螺紋或雙卡套中3，并可定制其他機(jī)械接口。
MFC4000質(zhì)量流量控制器采用本公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時(shí)域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨(dú)特的時(shí)域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對(duì)于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實(shí)現(xiàn)氣體識(shí)別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時(shí)域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。
備注: mLn/min表示在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(0°C，101 .325kPa)下的標(biāo)準(zhǔn)流量。

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量控制器 小體積 高性能 MFC4000系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：
采用MEMS熱量傳感技術(shù)
量程比100: 1
壓力范圍0.1~0.8MPa
可測(cè)量多種氣體不需要特別修正
機(jī)械接口可定制
各種標(biāo)準(zhǔn)通訊選項(xiàng)可供選擇

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量控制器 小體積 高性能 MFC4000系列 參數(shù)：

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量控制器 小體積 高性能 MFC4000系列 選型：

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量控制器 小體積 高性能 MFC4000系列 尺寸：

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量控制器 小體積 高性能 MFC4000系列 接口：