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氣體質(zhì)量流量傳感器 - FS4000系列

  • 氣體質(zhì)量流量傳感器
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為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
支持多種連接方式,易于安裝與使用
傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量

產(chǎn)品型號(hào):
FS4000系列
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產(chǎn)品介紹

一、氣體質(zhì)量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品概述

FS4000系列質(zhì)量流量傳感器是采用的微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003氣體質(zhì)量流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008氣體質(zhì)量流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等


?二、氣體質(zhì)量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品主要特性
1)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
2)支持多種連接方式,易于安裝與使用
3)傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
4)在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
5)輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
6)零點(diǎn)穩(wěn)定度高
7)全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
8)低功耗、低壓損
9)響應(yīng)速度快

??
三、 ?氣體質(zhì)量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

性能參數(shù)

FS4003

FS4008

單位

通?徑

3

8

mm

流量

2,?3,?4,?5

10,?20,?30,?40,?50

SLPM

量程比

100:1


精?度

±(1.5+0.2FS)

%

重復(fù)性

0.75

%

零點(diǎn)輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應(yīng)時(shí)間

10(默認(rèn),可設(shè)置20,50,100,200,500,1000)

ms

工作電源

8~18Vdc,100mA


輸出方式

線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc


流量壓損

100

600

pa

工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10?~?+55

存儲(chǔ)溫度

-20?~?+65

工作濕度

<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)


機(jī)械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭

BSPT1/4(R1/4)


校準(zhǔn)方式

空氣(或其他氣體),20℃,101.325kPa


重量

57(帶R1/4,BSPT1/4接口)

g

71 (帶4mm,8mm快速接口)

68(帶6mm快速接頭)




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